装置詳細

i線ステッパ

i線ステッパIMG
名称 i線ステッパ
メーカー ニコン
課金額 単価表(https://unit.aist.go.jp/tia-co/orp/index.html)をご参照ください。
※課金係数1でご利用の場合
導入年月日 2012/05/01(火)
仕様 本装置は、レチクル上に描画されたパターンを超高圧水銀灯で照明し、縮小投影レンズを通してウェハ上に結像させ、焼き付けます。また、ウェハステージをステップ・アンド・リピートさせながら露光するので、ウェハ全面への露光が可能になります。

・形式:NSR-2205i12D
・露光光源:i線(波長365nm)
・解像度:350nm L&S
・開口数N.A:最大0.63、0.63~0.5で可変
・縮小倍率:1/5倍
・1ショットの露光範囲:22mm角 又は 17.96(横)×25.2(縦)mm、
但し、φ31.11mm以内
・露光マスク:6インチレチクル
・アライメント精度:55nm以下
・露光可能なウェハサイズ:3インチ、4インチ、6インチ
・標準的な露光時間(ウェハ、レチクルのセットから露光終了まで):10分程度/ウェハ
但し、上記はアライメントがオートでなされ、エラーが発生しない場合。
備考 ・設置場所:2-12棟1131クリーンルーム内。
・使用可能サンプル:清浄ベアウェハまたは所定の洗浄プロセスにて処理されたウェハ。
・利用開始前に操作法についての講習の履修が必要。
・露光プロセスとプログラミングはユーザー自身が実施すること。また、利用マニュアルに記述のない操作を禁止する。
・実際の利用に当たっては、装置管理者の指示に従うこと。また、不具合が発生した場合、管理者へ通知のこと。

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