装置詳細

オートプローバ

オートプローバIMG
名称 オートプローバ
メーカー  
課金額 単価表(https://unit.aist.go.jp/tia-co/orp/index.html)をご参照ください。
※課金係数1でご利用の場合
導入年月日  
仕様 本装置は、ウェハステージに人手でウェハをセットすることで、自動的にプロービング測定を行うセミオートプローバです。試作途中又は試作後のウェハの2端子、4端子測定が可能です。測定レンジの設定もプログラムで自動的に変更して測定します。

・型式:PCP-102SL
・ウェハ保持:ウェハ裏面のバキュームチャック
・アライメント:オート(画像認識)又はマニュアルでも可
・プロービング:マイクロポジショナー、ニードル数:4
・測定箇所は、全てプログラム内に座標指定する。
・座標データが記入されたExcelデータを読込むことも可
・測定結果はPCに自動取込み、Excelデータに変換可能
・測定器:デジタルマルチメータ(Agilent 34410A)又はエレクトロメータ(Advantest R8252)
・測定可能なウェハサイズ:3インチ、但し装置設定を変更すれば8インチまで対応可
・測定時間:プロービングサイト数によるが、例えば1ウェハ3000箇所程度の2端子測定は20分程度(100箇所以上/分)。
備考 ・設置場所:2-12棟1131クリーンルーム内。
・使用可能サンプル:裏面が清浄な3インチウェハ、但し、装置設定を変更すれば8インチまで対応可。
・実際の利用に当たっては装置管理者の指示に従うこと。

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