装置詳細

マニュアルプローバ

マニュアルプローバIMG
名称 マニュアルプローバ
メーカー  
課金額 単価表(https://unit.aist.go.jp/tia-co/orp/index.html)をご参照ください。
※課金係数1でご利用の場合
導入年月日  
仕様 本装置は、ウェハステージに人手でウェハをセットし、マイクロポジショナー(ニードル)をマニュアルで測定箇所に合わせて測定するマニュアルプローバです。試作途中又は試作後のウェハの2端子、4端子測定が可能です。
・型式:705B-A

・ウェハ保持:ウェハ裏面のバキュームチャック
・プロービング:マイクロポジショナー、ニードル数:4
・測定器:デジタルマルチメータ(Keithley 197)
・測定結果はデジタルマルチメータの表示のみ。
・測定可能なウェハサイズ:3インチ、4インチ、数mm角のチップでも可
・測定時間:プロービング数に依存
備考 ・設置場所:2-12棟1131クリーンルーム内。
・使用可能サンプル:裏面が清浄な3インチ、4インチウェハ、又は数mm角のチップでも可
・実際の利用に当たっては装置管理者の指示に従うこと。

PAGE TOP