装置詳細

ヘリウムイオン顕微鏡(HIM)

ヘリウムイオン顕微鏡(HIM)IMG
名称 ヘリウムイオン顕微鏡(HIM)
メーカー Zeiss
課金額 SCR運営室(scr_contact-ml@aist.go.jp)にお問い合わせください。
※課金係数1でご利用の場合
導入年月日 2010/04/01(木)
仕様 ヘリウムイオンビームを測定試料に照射すると試料から二次電子が放出されます。この二次電子の放出量をイオンビーム照射位置と同期させながら測定し、その強弱を計測することで像を得るのが走査型ヘリウムイオン顕微鏡(HIM)観察です。
ヘリウムイオン顕微鏡では走査型電子顕微鏡(SEM)と比較して二次電子の放出量が多いため非常に小さなビーム電流で像を取得できるので低ダメージでの高分解能観察が可能です。また焦点深度が非常に深く微細部の三次元的な観察が可能であり、材料・デバイスの研究開発のための新しい評価技術として注目されています。ガス導入によりnm構造の堆積、エッチングも可能です。
・HIM SE Mode Resolution
0.21nm (Edge Contrast)
・Beam Landing Energy
10 to 35 kV
・Beam Current
0.1pA - 50pA
・Detectors
1.Everhart Thornley for Secondary Electrons (SE) imaging
2.MCP for Rutherford Backscattered Ion imaging (RBI)
・Gas Injection System
備考 共用施設等利用約款に基づきご利用頂くことが可能です。
装置の詳細につきましてはSCR運営室(scr_contact-ml@aist.go.jp)にお問い合わせください。
利用申込み方法につきましては、下記のページをご参照いただくか、共用施設調整室(tia-kyoyo-ml@aist.go.jp)までお問い合わせください。
https://unit.aist.go.jp/tia/orf-co/scr/index.html

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