装置詳細
超伝導蛍光X線検出器付走査型電子顕微鏡(SC-SEM)
| 名称 | 超伝導蛍光X線検出器付走査型電子顕微鏡(SC-SEM) |
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| メーカー | |
| 課金額 | 20,000円/時間(成果公開/技術代行の場合) ※課金係数１でご利用の場合 |
| 導入年月日 | 2016/04/01(金) |
| 仕様 | 高感度、高分解能の超伝導検出器を搭載した、蛍光X線検出器付走査型電子顕微鏡。 電子線で試料上を走査する際に放出される蛍光X線を測定することにより、主に軽元素の分布状態を評価できる。 ●蛍光X線エネルギー範囲:100 eV - 2 keV ●エネルギー分解能:～7 eV@400 eV X-ray ●計数率: ～1 Mcps ●走査型電子顕微鏡:HITACHI S-4500 ●加速電圧範囲:200 eV - 30 keV ●電子ビームサイズ(最適値):1.5 nm at 15 kV, 4.0 nm at 1 kV ●最大サンプルサイズ:20 mmΦ ●機械式ヘリウム3 冷凍機を用いて簡単に冷却でき、長時間の測定可能 ≪特徴≫ 1.超伝導エネルギー分散分光検出器を搭載した走査型電子顕微鏡 2.100 ppm以下の微量元素を検出可能 3.特定元素については化学状態分析も可能 4.WDSのエネルギー分解能でSDD並の検出効率を実現、省エネ半導体中のドーバントや酸化物、磁性体中に含まれる各元素の次元的なナノメータースケールの分布状況を 高いスループットで評価 (競合:米Star Cryoelectronics) |
| 備考 | この装置のご利用に関するお問い合わせは ancf-contact-ml(@)aist.go.jp までお願い致します。 |
