装置詳細

超伝導蛍光X線検出器付走査型電子顕微鏡(SC-SEM)

超伝導蛍光X線検出器付走査型電子顕微鏡(SC-SEM)IMG
名称 超伝導蛍光X線検出器付走査型電子顕微鏡(SC-SEM)
メーカー  
課金額 20,000円/時間(成果公開/技術代行の場合)
※課金係数1でご利用の場合
導入年月日 2016/04/01(金)
仕様 高感度、高分解能の超伝導検出器を搭載した、蛍光X線検出器付走査型電子顕微鏡。
電子線で試料上を走査する際に放出される蛍光X線を測定することにより、主に軽元素の分布状態を評価できる。
●蛍光X線エネルギー範囲:100 eV - 2 keV
●エネルギー分解能:~7 eV@400 eV X-ray
●計数率: ~1 Mcps
●走査型電子顕微鏡:HITACHI S-4500
●加速電圧範囲:200 eV - 30 keV
●電子ビームサイズ(最適値):1.5 nm at 15 kV, 4.0 nm at 1 kV
●最大サンプルサイズ:20 mmΦ
●機械式ヘリウム3 冷凍機を用いて簡単に冷却でき、長時間の測定可能
≪特徴≫
1.超伝導エネルギー分散分光検出器を搭載した走査型電子顕微鏡
2.100 ppm以下の微量元素を検出可能
3.特定元素については化学状態分析も可能
4.WDSのエネルギー分解能でSDD並の検出効率を実現、省エネ半導体中のドーバントや酸化物、磁性体中に含まれる各元素の次元的なナノメータースケールの分布状況を
高いスループットで評価
(競合:米Star Cryoelectronics)
備考 この装置のご利用に関するお問い合わせは
ancf-contact-ml(@)aist.go.jp
までお願い致します。

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