装置詳細

S-5000 (関西センター)

S-5000 (関西センター)IMG
名称 S-5000 (関西センター)
メーカー 日立
課金額 下記備考参照
※課金係数1でご利用の場合
導入年月日  
仕様 加速電圧 : 0.5 ~ 30kV(0.1kVステップ)
電子銃 : 冷陰極 電界放出形電子銃
拡大倍率 : 30 ~ 1,000,000倍
分解能 : 0.6nm(at 30kV)、3.0nm(at 1kV)
試料ホルダー : 1軸傾斜試料ホルダー、2軸傾斜試料ホルダー、試料回転ホルダー、大型バルク試料ホルダー、試料加熱ホルダー
付属装置 : EDS、画像取り込み装置
観察・分析内容 : 二次電子像、反射電子像、透過電子像、元素分析
備考 現在(2014年4月以降)、産総研と共同研究契約を締結されている方か、技術研修目的でご利用を希望されている方のみに外部公開しております。
ご利用をご希望の方はIBECシステムにご登録頂く前にtia-kyoyo-ml(@)aist.go.jpまでお問い合わせください。

利用料に関しましてはtia-kyoyo-ml(@)aist.go.jpまでお問い合わせください。

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