装置詳細

陽電子欠陥評価装置(陽電子プローブマイクロアナライザー( PPMA))

陽電子欠陥評価装置(陽電子プローブマイクロアナライザー( PPMA))IMG
名称 陽電子欠陥評価装置(陽電子プローブマイクロアナライザー( PPMA))
メーカー 自作
課金額 21,800円/時間(成果公開/技術代行の場合)
※課金係数1でご利用の場合
導入年月日 1991/04/01(月)
仕様 電子加速器で発生した低エネルギー高強度陽電子ビームを短パルス化し試料に入射して、陽電子の寿命スペクトルなどを測定することによって、試料(特に薄膜や表面近傍)の原子~ナノレベルの欠陥・空孔を評価する装置。
原子~ナノメートルサイズの原子空孔や空隙の評価が可能。
●パルスレート: 26 ns以上可変
●パルス幅:200 ps以下
●入射エネルギー0.5 keV~30 keV可変
●ビーム径10 μm~12 mm
※原則として「技術代行」または「技術補助」でのご利用となります。「機器利用」については装置担当者とご相談下さい。
備考 陽電子ビーム発生用電子リニアック装置とともに使用

この装置のご利用に関するお問い合わせは
ancf-contact-ml(@)aist.go.jp
までお願い致します。

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