装置詳細

表面プローブ顕微鏡群1(RSPM)

表面プローブ顕微鏡群1(RSPM)IMG
名称 表面プローブ顕微鏡群1(RSPM)
メーカー JEOL
課金額 17,300円/時間(成果公開/技術代行の場合)
※課金係数1でご利用の場合
導入年月日  
仕様 原子間力顕微鏡、走査型トンネル顕微鏡
●型式:JEOL JSPM5400、E-SWEEP他
●設置室名: 2-1D棟125室
●測定機能:AM-AFM, FM-AFM,コンタクトモード, STM, KPFM, EFM
●測定環境:大気中、液中、真空中(10-5[Torr])、超高真空(10-10[Torr]、使用機能に制限あり)
●温度範囲:室温~300 ℃(ヒータのみ、制御なし)
●試料サイズ:最大300 mmウェハー(測定手法によっては寸法(1 mm角等)や厚さの制限有)
●液中リアルタイム測定可能(毎秒10フレーム)
原理(ナノエレクトロニクス計測分析技術研究会監修)
原子間力顕微鏡(AFM)
http://www.tsc-web.jp/map/pdf/AFM.pdf
走査型トンネル顕微鏡(STM)
http://www.tsc-web.jp/map/pdf/STM.pdf


※原則として「技術代行」または「技術補助」でのご利用となります。「機器利用」については装置担当者とご相談下さい。
備考 導入年月日:2006年~2010年
(1)原則、本人が試料消耗品を持参して測定し、持ち帰ること。
(2)消耗品は標準カンチレバー(OMCL-AC160、AC200、AC240のいずれか)を半日あたり2本まで利用可能。それ以上は自己負担(持参)とする。午前は3時間、午後は4時間とし、午後と翌朝の連続使用を予約した場合は、夜間に(同一計測条件での)連続計測が可能。
(3)前処理設備を利用する場合は、事前に相談のこと。
(4)必ず含有物質名を記録し、有害物質を含む材料は持ち込まないこと。
(5)H22年3月に移転したため、装置の一部は、H22年後半より使用可能となるものがある。

この装置のご利用に関するお問い合わせは
ancf-contact-ml(@)aist.go.jp
までお願い致します。

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