-
お知らせ
2020/11/27(金)
新しいECRスパッタ成膜・ミリング装置、および原子層堆積装置の公開 -
お知らせ
2020/08/24(月)
USBメモリ貸出のお知らせ -
お知らせ
2020/07/20(月)
【重要】USBメモリ持ち込み禁止のお知らせ -
お知らせ
2020/06/19(金)
【重要】新型コロナウィルスに対する対応について【6/19更新】 -
お知らせ
2019/06/05(水)
装置予約の当日時間変更、キャンセルについて
-
お知らせ
2020/11/16(月)
年末年始の施設閉鎖に関して【12/25夕～1/5AM】 -
メンテナンス
2020/11/09(月)
上水・雑用水断水のお知らせ【12/12】 -
利用停止
2020/11/06(金)
i線露光装置の状況について -
利用停止
2020/11/04(水)
エリオニクスEB描画装置は故障のため利用停止 -
お知らせ
2020/10/28(水)
多目的エッチング装置 C4F8ガス使用不可 -
お知らせ
2020/10/13(火)
【NPF031】原子層堆積装置[FlexAL] 一部成膜不可 -
お知らせ
2020/10/08(木)
薬品瓶の取り扱いにご注意を -
利用停止
2020/06/29(月)
レーザー加工装置 利用停止 -
利用停止
2020/06/19(金)
【重要】施設機器利用の部分再開【6/19更新】 -
お知らせ
2020/05/20(水)
クリーンルーム入室時のご注意
