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お知らせ
2021/01/19(火)
【重要】非接触型温度検知器の本館受付への設置について【実施日1/20~】 -
お知らせ
2020/11/27(金)
新しいECRスパッタ成膜・ミリング装置、および原子層堆積装置の公開 -
お知らせ
2020/06/19(金)
【重要】新型コロナウィルスに対する対応について【6/19更新】 -
お知らせ
2019/06/05(水)
装置予約の当日時間変更、キャンセルについて -
お知らせ
2015/03/28(土)
【重要】共用施設の利用制度について
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お知らせ
2021/04/08(木)
2021年ゴールデンウィークの施設休業について -
メンテナンス
2021/04/08(木)
ULVACスパッタの撤去搬出【4/20～21】 -
利用再開
2021/04/05(月)
【NPF089】赤外線ランプ拡散炉(RTA)利用再開 -
利用停止
2021/04/05(月)
クレステック電子ビーム描画装置 利用停止
