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お知らせ
2022/01/05(水)
【産総研利用者】2021年度第4四半期の利用申込及び精算処理の受付期限について -
お知らせ
2021/10/18(月)
令和3年度利用報告書ご提出のお願い -
お知らせ
2021/01/19(火)
【重要】非接触型温度検知器の本館受付への設置について【実施中】 -
お知らせ
2020/06/19(金)
【重要】新型コロナウィルスに対する対応について【6/19更新】 -
お知らせ
2019/06/05(水)
装置予約の当日時間変更、キャンセルについて
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メンテナンス
2022/01/17(月)
MPMSメンテナンスのため利用停止【1/5～1/31】【更新】 -
利用再開
2022/01/17(月)
PPMS装置暫定利用再開 -
お知らせ
2022/01/13(木)
装置の供用廃止と新規装置の紹介 -
利用停止
2022/01/11(火)
多目的エッチング装置 装置利用不可【～1/31】 -
利用停止
2022/01/06(木)
CR内ドラフトチャンバーの使用禁止【～1/24】【更新】 -
利用再開
2022/01/06(木)
工事等に伴う施設利用停止等について【更新】 -
メンテナンス
2022/01/06(木)
高速電子ビーム描画装置 利用停止【～1/31】 -
利用停止
2022/01/05(水)
単波長エリプソメータ 利用停止【期間未定】 -
利用再開
2021/12/28(火)
一部ドラフト利用再開【1/5～】 -
利用停止
2021/12/01(水)
酸素供給集中化に伴う利用停止および利用制限について【1/5～25】
