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お知らせ
2019/02/21(木)
【重要】2019年度4月1日以降のご利用の利用申込みについて -
お知らせ
2019/02/05(火)
(3/14) 『NPFセミナー ～省エネルギー社会に貢献するGaN材料の将来と、そのキープロセス技術～』のご案内 -
お知らせ
2018/12/03(月)
産総研ユーザー 2018年度第4四半期の共用施設の利用申込及び精算処理の受付期限について -
お知らせ
2018/11/16(金)
【NPFセミナー】11/30(金)開催 薄膜実践セミナーIVのお知らせ -
お知らせ
2018/08/20(月)
【重要】当日キャンセルの取り扱いについて
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利用停止
2019/03/13(水)
FIB-SEMの共用廃止【3月】 -
利用再開
2019/03/13(水)
多目的エッチング装置(ICP-RIE)C4F8ガス追加 -
お知らせ
2019/03/06(水)
クリーンルームユーザー保管棚の整理 -
利用停止
2019/03/06(水)
【NPF030】プラズマCVD堆積装置が故障 -
お知らせ
2019/01/28(月)
マスクアライメント装置入れ替えと旧装置の用途変更 -
お知らせ
2019/01/18(金)
クリーンルームマスクの変更 -
利用停止
2018/12/27(木)
ECRスパッタ装置、今年度内で共用廃止【2月】
