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お知らせ
2021/01/19(火)
電子ビームリソグラフィセミナーⅥ ～電子ビーム露光とレーザービーム描画によるグレースケール露光～ -
お知らせ
2021/01/19(火)
【重要】非接触型温度検知器の本館受付への設置について【実施日1/20~】 -
お知らせ
2020/12/08(火)
【産総研内部利用者】 2020年度第4四半期の共用施設の利用申込及び精算処理の受付期限について -
お知らせ
2020/11/27(金)
新しいECRスパッタ成膜・ミリング装置、および原子層堆積装置の公開 -
お知らせ
2020/08/24(月)
USBメモリ貸出のお知らせ
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利用停止
2021/01/18(月)
【NPF026】RF・DCスパッタ装置(ULVAC)本年度末で供用廃止 -
利用停止
2021/01/18(月)
レーザー加工装置、今年度内で供用廃止 -
お知らせ
2020/12/24(木)
多目的エッチング装置ご利用上の注意 -
お知らせ
2020/10/13(火)
【NPF031】原子層堆積装置[FlexAL] 一部成膜不可 -
利用停止
2020/06/19(金)
【重要】施設機器利用の部分再開【6/19更新】
