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利用可能な加工、計測、分析、及び、評価装置のリスト

施設:   装置種別:  


ナノプロセシング施設(NPF)

装置名
【NPF001】電子ビーム描画装置
【NPF002】電子線描画装置
【NPF003】イオンコーター (SEM, FIB付帯装置)
【NPF004】高分解能電界放出電子顕微鏡(FE-SEM)
【NPF005】低真空走査電子顕微鏡
【NPF006】マスクレス露光装置
【NPF008】スピンコーター (リソグラフィ付帯装置)
【NPF009】コンタクトマスクアライナー(MJB4)
【NPF010】マスクアライメント露光装置
【NPF011】i線露光装置
【NPF012】ドラフトチャンバー(右)
【NPF013】ドラフトチャンバー(左)
【NPF014】有機ドラフトチャンバー
【NPF015】酸アルカリドラフトチャンバー
【NPF016】スターラーウォーターバス
【NPF017】スマートウォーターバス
【NPF018】反応性イオンエッチング装置 (RIE)
【NPF019】多目的エッチング装置
【NPF021】プラズマアッシャー (リソグラフィ付帯装置)
【NPF022】UVクリーナー (リソグラフィ付帯装置)
【NPF023】真空蒸着装置
【NPF024】小型真空蒸着装置
【NPF025】スパッタ装置
【NPF026】RF・DCスパッタ装置
【NPF027】ECRスパッタリング装置
【NPF028】多元同時スパッタ装置
【NPF029】メッキ装置
【NPF030】プラズマCVD装置
【NPF031】原子層堆積装置
【NPF032】原子層堆積装置ミリング機能
【NPF033】アルゴンミリング装置
【NPF034】集束イオンビーム加工観察装置(FIB)
【NPF035】イオンスパッタ(FIB付帯装置)
【NPF036】FIB-SEM 複合装置
【NPF037】イオン注入装置
【NPF038】二次イオン質量分析装置(D-SIMS)
【NPF039】オゾンクリーナー
【NPF040】高速昇降温炉(RTA)
【NPF041】ウェハー酸化炉
【NPF042】クリーンオーブン(右)
【NPF043】クリーンオーブン(左)
【NPF044】マッフル炉
【NPF045】触針式段差計 (成膜プロセス付帯装置)
【NPF046】大型試料対応走査プローブ顕微鏡(SPM1)
【NPF047】走査プローブ顕微鏡2(SPM2)[SPM-9700]
【NPF048】ナノサーチ顕微鏡(SPM3)[SFT-3500]
【NPF049】ナノプローバ(N-6000SS)
【NPF050】四探針プローブ抵抗測定装置
【NPF051】デバイスパラメータ評価装置
【NPF052】デバイス容量評価装置
【NPF053】ワイヤーボンダー
【NPF054】ダイシングソー
【NPF055】スクライバー (リソグラフィ付帯装置)
【NPF056】研磨機
【NPF057】ラッピングマシン(CMP)
【NPF058】ウェハー圧着機
【NPF059】レーザー顕微鏡
【NPF060】短波長レーザー顕微鏡(VK-9700)
【NPF061】短波長レーザー顕微鏡(OLS4100)
【NPF062】全焦点顕微鏡
【NPF063】分光エリプソメータ
【NPF064】解析PC(分光エリプソメータ用)
【NPF065】顕微レーザーラマン分光装置
【NPF066】顕微フーリエ変換赤外分光装置(FT-IR)
【NPF067】解析用PC(CADおよびSPM, FT-IR, Raman用)
【NPF068】磁気特性測定システム(MPMS)
【NPF070】X線回折装置(XRD)
【NPF071】薄膜エックス線回折装置
【NPF072】微小部蛍光X線分析装置(XRF)
【NPF073】解析用PC(X線,OLS4100およびCAD用)
【NPF074】エックス線光電子分光分析(XPS)装置
【NPF075】解析用PC(XPS用)
【NPF076】解析用PC(一般解析用)1
【NPF080】ヘリウムイオン顕微鏡
【NPF084】デジタルマイクロスコープ


ご利用料の割引制度についてのお知らせ

2017年度のご利用につきましては、ユーザーのご所属により、課金額に下記の係数がかかります。その他、支援形態や成果公開の可否によって課金額が変わります。詳しくはNPF事務局にお問い合わせください。

  • 中小企業(中小企業支援法第2条) 0.5
  • 大学及び公的研究機関 0.7
  • 上記に該当しない場合は 1

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