装置詳細

【NPF009】コンタクトマスクアライナー[MJB4]

【NPF009】コンタクトマスクアライナー[MJB4]IMG
名称 【NPF009】コンタクトマスクアライナー[MJB4]
メーカー SUSS MicroTec
課金額 2021年度単価表
導入年月日 2011/02/24(木)
仕様 5種類の露光モードを持ち、サブミクロン域までの露光や高精度なアライメント露光が可能な、コンタクト方式高性能手動マスクアライナです。
基板は4インチウェハまで対応し、破片状の小片基板なども処理できます。
フォトマスクは、ホルダーのガイド位置を変えれば、2.5~5インチマスクまで取り付けることが可能です。

基板サイズ:2インチ~4インチ、不定形小片~100mm
解像度 :約800nm(バキュームコンタクト使用時)
波長 :g線(436nm)、h線(405nm)、i線(365nm)
照度 :約25mW/cm²
露光モード:プロキシミティ、ソフトコンタクト、ハードコンタクト、
ソフトバキュームコンタクト、バキュームコンタクト
露光領域 :2.5~5インチ対応マスクホルダー 最大40mm□
4インチ,5インチ対応マスクホルダー 最大110mmφ

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