装置詳細
【NPF035】イオンコーター(FIB付帯)
| 名称 | 【NPF035】イオンコーター(FIB付帯) |
|---|---|
| メーカー | 日立ハイテクノロジーズ |
| 課金額 | 2018年度単価表 |
| 導入年月日 | |
| 仕様 | 集束イオンビーム加工観察において、熱伝導性のない試料の昇華や融解による形状変形 及び熱改質の防止、試料の表面へのイオン注入による汚染(orイオンビーム入射による表面改質)の防止、電気伝導性のない試料の加工や観察への帯電障害(チャージアップ)を防止するため、Ptコーティングを行う装置です。 ●放電方式:ダイオード放電マグネトロン形(電場・磁場直交形) ●電極形状:対向平行円板(マグネット埋込み) ●電圧:最高電圧DC 0.4 kV ●電流:最大電流DC 40 mA ●コーティングレート: Pt 毎分15 nm以上 (参考値) ●試料サイズ:最大直径:60 mm、最大高さ:20 mm |
