装置詳細

【NPF010】マスクアライメント露光装置

【NPF010】マスクアライメント露光装置IMG
名称 【NPF010】マスクアライメント露光装置
メーカー 共和理研
課金額 2018年度単価表
導入年月日  
仕様 ■露光源 : ウシオ電機マルチライト 超高圧水銀ランプ
■主波長 : 365nm(i線)
■照度 : 約32mW/c㎡
■露光モード : コンタクト方式
■ウェハサイズ : 小片基板~4インチ
■露光領域 : 最大85mm□

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