装置詳細
【NPF029】メッキ装置

名称 | 【NPF029】メッキ装置 |
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メーカー | 株式会社山本鍍金試験器 |
課金額 | 2021年度単価表 |
導入年月日 | |
仕様 | 2inch、4inchシリコンウエハ対応 ・水槽:4inchシリコンウエハ用 アクリル製二重底タイプ、浴容量 4L ・ヒーター:ウエハ水槽用ヒーター 100V,100W ・陽極板:含燐銅 ・濾過器:ミニミニフィルター20APFA型(PTFEチューブ/4.8 (dm3/min.)/0.5umカートリッジタイプ) ・揺動装置:4inch用パドル撹拌装置(回転数表示式) ・電源:入力電圧 AC100~200V±10%(50/60Hz±5%) 出力電圧 DC 0~15V 出力電流 0~10A 最小分解能 10mV,1mA,0.1mC 温度調整機能 1KW(ON/OFF PID制御) ・めっき液:微細配線・パンプ用無光沢硫酸銅(XP-CS) ・その他:筆めっき用にリード線付き筆具(筆先カーボン)あり 2inch、4inchシリコンウエハ対応の小型めっき装置です。濾過や加熱、エアー撹拌を行いながらのめっきが可能です。微細配線やパンプ用の無光沢銅めっきが行えます。また通常のスルーホールめっきにも使用出来ます。電源は最大電流10Aに対して、最小分解能が1mAの高性能なプログラマブル電源です。 |