装置詳細

【NPF029】メッキ装置

【NPF029】メッキ装置IMG
名称 【NPF029】メッキ装置
メーカー 株式会社山本鍍金試験器
課金額 2018年度単価表
導入年月日  
仕様 2inch、4inchシリコンウエハ対応
・水槽:4inchシリコンウエハ用 アクリル製二重底タイプ、浴容量 4L
・ヒーター:ウエハ水槽用ヒーター 100V,100W
・陽極板:含燐銅
・濾過器:ミニミニフィルター20APFA型(PTFEチューブ/4.8 (dm3/min.)/0.5umカートリッジタイプ)
・揺動装置:4inch用パドル撹拌装置(回転数表示式)
・電源:入力電圧 AC100~200V±10%(50/60Hz±5%)
出力電圧 DC 0~15V
出力電流 0~10A
最小分解能 10mV,1mA,0.1mC
温度調整機能 1KW(ON/OFF PID制御)
・めっき液:微細配線・パンプ用無光沢硫酸銅(XP-CS)
・その他:筆めっき用にリード線付き筆具(筆先カーボン)あり

2inch、4inchシリコンウエハ対応の小型めっき装置です。濾過や加熱、エアー撹拌を行いながらのめっきが可能です。微細配線やパンプ用の無光沢銅めっきが行えます。また通常のスルーホールめっきにも使用出来ます。電源は最大電流10Aに対して、最小分解能が1mAの高性能なプログラマブル電源です。

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