装置詳細

【NPF039】オゾンクリーナー(SIMS付帯)

【NPF039】オゾンクリーナー(SIMS付帯)IMG
名称 【NPF039】オゾンクリーナー(SIMS付帯)
メーカー 竹田理化工業株式会社
課金額 2018年度単価表
導入年月日  
仕様 ・電源:AC100V 50/60Hz
・ランプ:110W低圧水銀ランプ
・ランプ波長:185nm、254nm
・照射距離:ランプ下面より0〜80mm(手動可変タイプ)
・照射エリア:150×150mm
・オゾン排気構造:別置きブロワーによる強制排気方式(オゾン吸着材封入)

短波長紫外線で固体の表面改質・乾式洗浄を行うクリーナーです。二種類の短波長紫外線(185、254nm)により空気中の酸素をオゾン化し有機物を除去します。サンプル表面へのダメージは極めて少なく、良好な表面が得られます。光源は手動による可変タイプのため、表面分析の前処理をin-situ(測定前室)で行うことが可能です。

※2F(一般実験実)でのご利用となります。

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