装置詳細

【NPF032】クロスセクションポリッシャ(ALD付帯)

【NPF032】クロスセクションポリッシャ(ALD付帯)IMG
名称 【NPF032】クロスセクションポリッシャ(ALD付帯)
メーカー 株式会社日立ハイテクノロジーズ
課金額 2018年度単価表
導入年月日  
仕様 日立ハイテクノロジーズ社製 IM4000[断面ミリングオプション]型
イオンガン(アルゴンビーム照射)と高イオンビーム耐性マスク(金属板)を使用して、走査型電子顕微鏡(SEM)等による試料内部構造の観察や分析のための断面試料を作製することができます。劈開や研磨では加工が難しいような、硬度やミリングレートが異なる構成の複合
材料でも可能となります。また、専用治具へ交換することでフラットミリングを行うこともできます。

イオンガン:冷陰極ペニング型
使用ガス:アルゴン
加速電圧:1~6kV
放電電圧:1.5kV
断面ミリングレート:100~300µm/h (加速電圧6kV時) ※材料により異なる
断面ミリングの最大試料サイズ:20mm(W)×12mm(D)×7mm(H)
スイング角度:OFF~±40°

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