装置詳細

【NPF006】マスクレス露光装置

【NPF006】マスクレス露光装置IMG
名称 【NPF006】マスクレス露光装置
メーカー ナノシステムソリューションズ
課金額 2018年度単価表
導入年月日 2011/02/28(月)
仕様 露光パターン発生用の空間光変調器にDMD(Digital Micromirror Device)を用いたマスクレス方式の露光装置です。フォトマスクを使用せずに、CADデータ(GDSII形式)にした任意の形状を基板上のフォトレジストに直接パターニングすることができます。光源は波長405nmのLEDです。露光最小画素は□1μm、最大露光領域は□100mm、重ね合わせ精度は±1 μmです。

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