産業技術総合研究所ナノプロセシング施設

装置詳細

名称	【NPF006】マスクレス露光装置
メーカー	ナノシステムソリューションズ
課金額	2019年度単価表
導入年月日	2011/02/28(月)
仕様	露光パターン発生用の空間光変調器にDMD(Digital Micromirror Device)を用いたマスクレス方式の露光装置です。フォトマスクを使用せずに、CADデータ(GDSII形式)にした任意の形状を基板上のフォトレジストに直接パターニングすることができます。光源は波長405nmのLEDです。露光最小画素は□1μm、最大露光領域は□100mm、重ね合わせ精度は±1 μmです。