装置詳細

【NPF074】エックス線光電子分光分析(XPS)装置

【NPF074】エックス線光電子分光分析(XPS)装置IMG
名称 【NPF074】エックス線光電子分光分析(XPS)装置
メーカー KRATOS ANALYTICAL / ㈱島津製作所
課金額 2021年度単価表
導入年月日 2011/03/31(木)
仕様 ・X線源: Rowland 円直径 500mm モノクロメータ付Al Kα (1486.6 eV)
・光電子分光器: 軌道半径165mm静電二重半球型アナライザー/球面鏡アナライザー複合型
・検出器: ディレイラインディテクター(DLD)システム
スペクトル分析: 100チャネル同時計測
イメージング: 256×256画素(最大分解能3μm)
・スペクトル分析領域: 300μm×700μm, φ110, 55, 27, 15μm (光電子検出器にアパーチャを挿入して制限)
・エネルギ分解能: Ag 3d5/2光電子ピークが半値幅0.48 eV以下
・帯電中和: 均一低エネルギー電子照射
・試料サイズ: φ110 mm , 高さ10mm (専用ホルダ使用で約15mm迄可)
・ 光電子取り出し角度: 垂直(標準), 15~90°(傾斜観察ホルダ使用)
* 傾斜観察時は試料サイズの制限があります。
・ エッチングイオン銃: Ar+, 多原子(コロネンC24H12 )イオン
・ 搭載オプション: He紫外線光源(UPS用 21.2, 40.2 eV), エアセンシティブサンプルトランスポータ, Agアノード(Ag Lα:2984.2eV), 3端子電流導入(予定)

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