装置詳細

【NPF027】ECRスパッタ成膜装置

【NPF027】ECRスパッタ成膜装置IMG
名称 【NPF027】ECRスパッタ成膜装置
メーカー エム・イー・エス アフティ株式会社
課金額 2018年度単価表
導入年月日  
仕様 ●電子サイクロトロン共鳴(ECR)プラズマスパッタ方式
●成膜可能材料:Al2O3, SiO2, AlN, SiN, TiO2
●基板サイズ:最大φ100 x t3 mm
●基板加熱:Max 500 ℃
●成膜距離:100~200 mm
●成膜ガス圧力:0.1~0.2 Pa
●マイクロ波導入窓の制約上、絶縁膜に限る。

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