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【NPF012】ドラフトチャンバー(右)
名称
【NPF012】ドラフトチャンバー(右)
メーカー
株式会社ダルトン
課金額
2021年度単価表
導入年月日
仕様
■付帯設備:純水取り出し口、窒素ガスブロー、イエローライト、局所排気装置
■取扱可能薬品:リソグラフィーに用いるレジスト現像液、リンス液、剥離液、
及び、IPA、エタノール、アセトンなどの有機溶剤
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