装置詳細

【NPF013】ドラフトチャンバー(左)

【NPF013】ドラフトチャンバー(左)IMG
名称 【NPF013】ドラフトチャンバー(左)
メーカー  
課金額 2018年度単価表
導入年月日  
仕様 ■付帯設備:純水取り出し口、窒素ガスブロー、イエローライト、局所排気装置

■取扱可能薬品:リソグラフィーに用いるレジスト現像液、リンス液、剥離液、
及び、IPA、エタノール、アセトンなどの有機溶剤

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