装置詳細
【NPF086】マニュアルウェハープローバー(2F)
| 名称 | 【NPF086】マニュアルウェハープローバー(2F) |
|---|---|
| メーカー | MJC / KEYTHLEY / HP |
| 課金額 | 2021年度単価表 |
| 導入年月日 | 2017/07/07(金) |
| 仕様 | φ200 mmチャックテーブルを持つマニュアルプローバ(MJC_708fT-011)とKEITHLEY-4200SCS+HP4284Aを組み合わせたマニュアルプローバシステムです。2F一般実験室に設置され,主に多数のデバイス連続測定や長時間を要する測定,微小電流測定を対象にしています。 主な装置仕様は以下の通りです。 MJC 708fTマニュアルプローバ ウェーハチャックテーブルサイズ:φ200 mm 適用可能試料サイズ:φ75～200 mm, □10～30 mmsq. ※小片用チャックを使用することでφ0.5in～のウェーハも固定可能 ※φ300 mmウェーハの場合,中央付近であれば測定可能 ステージトラベル:X, Y ±110 mm (取り出し用ストローク含まず) サブステージトラベル:X, Y ±5 mm (マイクロメータ駆動) Zトラベル:0, 0.3, 3.5 mm固定+3 mm プローブ接続:リモートセンシング対応(Force, Sence独立配線) プローブ数:3系統(近日中に4系統に増設予定)+チャックテーブル1系統 プローブ先端径:R=12.5 m KEITHLEY 4200-SCS SMU搭載数:4200-SMU(4200-PA付き)×4 電流分解能:0.1fA～100pA 最大電流:±100mA 電圧レンジ:200mV～210V(4レンジ) 外部機器:HP4284A LCRメータ HP4284ALCRメータを接続してあり,Probe 1, 2をスイッチユニットで切り替えて接続することができます。HP4284ALCRメータも4200-SCSに搭載されたKITEからGUIインターフェイスで制御することができます。 |
