装置詳細

【NPF086】マニュアルウェハープローバー(2F)

【NPF086】マニュアルウェハープローバー(2F)IMG
名称 【NPF086】マニュアルウェハープローバー(2F)
メーカー MJC / KEYTHLEY / HP
課金額 2018年度単価表
導入年月日 2017/07/07(金)
仕様 φ200 mmチャックテーブルを持つマニュアルプローバ(MJC_708fT-011)とKEITHLEY-4200SCS+HP4284Aを組み合わせたマニュアルプローバシステムです。2F一般実験室に設置され,主に多数のデバイス連続測定や長時間を要する測定,微小電流測定を対象にしています。
主な装置仕様は以下の通りです。

MJC 708fTマニュアルプローバ
ウェーハチャックテーブルサイズ:φ200 mm
適用可能試料サイズ:φ75~200 mm, □10~30 mmsq.
※小片用チャックを使用することでφ0.5in~のウェーハも固定可能
※φ300 mmウェーハの場合,中央付近であれば測定可能
ステージトラベル:X, Y ±110 mm (取り出し用ストローク含まず)
サブステージトラベル:X, Y ±5 mm (マイクロメータ駆動)
Zトラベル:0, 0.3, 3.5 mm固定+3 mm
プローブ接続:リモートセンシング対応(Force, Sence独立配線)
プローブ数:3系統(近日中に4系統に増設予定)+チャックテーブル1系統
プローブ先端径:R=12.5 m

KEITHLEY 4200-SCS
SMU搭載数:4200-SMU(4200-PA付き)×4
電流分解能:0.1fA~100pA
最大電流:±100mA
電圧レンジ:200mV~210V(4レンジ)

外部機器:HP4284A LCRメータ

HP4284ALCRメータを接続してあり,Probe 1, 2をスイッチユニットで切り替えて接続することができます。HP4284ALCRメータも4200-SCSに搭載されたKITEからGUIインターフェイスで制御することができます。

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