装置詳細

【NPF033】アルゴンミリング装置

【NPF033】アルゴンミリング装置IMG
名称 【NPF033】アルゴンミリング装置
メーカー 伯東
課金額 2018年度単価表
導入年月日  
仕様 イオンガンで発生させたArイオンビームを試料に照射することで、エッチングを行います。反応性イオンエッチング(RIE)装置などに比べ、雰囲気が一桁低い圧力(10^-2 Pa台)でエッチングの処理が行えます。
●型式:3-IBE
●ビーム直径: Φ3 cm
●ビーム加速電圧:500, 300 V
●イオン電流密度:1 cm2あたり1 mA(但し、入射角度0°の時)
●試料室の真空度: ~3×10^-2 Pa
●パージガス: 窒素ガス

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