装置詳細

【NPF088】電界放出形走査電子顕微鏡[S4500_FE-SEM] (2F)

【NPF088】電界放出形走査電子顕微鏡[S4500_FE-SEM] (2F)IMG
名称 【NPF088】電界放出形走査電子顕微鏡[S4500_FE-SEM] (2F)
メーカー 日立ハイテクノロジーズ
課金額 2018年度単価表
導入年月日  
仕様 細く絞った電子線による試料表面の走査によって対象物から放出される二次電子信号を検出することで、表面の凹凸や材質の違いなどを像として表示し、微細加工部の形状などを観察・評価します。特殊な電子銃により電子線を試料表面で細く収束し、非常に微細な構造を表示できます。試料を傾けることにより、三次元形状を把握することも可能です。
●型式:S-4500
●電子銃:冷陰極電界放出型電子銃
●加速電圧:0.5～30 kV
●分解能:1.5 nm (加速電圧15 kV, WD = 4 mm)
●試料ステージ制御:5軸モーター制御
●可動範囲:X,Y:0～25 mm、Y:0～25 mm、Z:3～28 mm、R:360°、T:-5～45°
●試料サイズ:～50 mmΦ
●検出器:2次電子検出器(2系統)、エネルギー分散型X線検出器

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