装置詳細

【NPF091】自動塗布現像装置

【NPF091】自動塗布現像装置IMG
名称 【NPF091】自動塗布現像装置
メーカー 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
課金額 2020年度単価表
導入年月日 2019/10/01(火)
仕様 ●ウェハサイズ:2inch、4inch オートローダー仕様
●プログラム:コーターレシピ28種類 デベロップレシピ46種類
●レジスト:i線用2系統(住友化学PFI-38A7、住友化学PFI-89B4)
●現像液:東京応化NMD-3(TMAH2.38%)

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