装置詳細

【NPF092】高圧ジェットリフトオフ装置

【NPF092】高圧ジェットリフトオフ装置IMG
名称 【NPF092】高圧ジェットリフトオフ装置
メーカー 株式会社カナメックス
課金額 2020年度単価表
導入年月日 2018/04/02(月)
仕様 加温したN-メチル-2-ピロリドン溶液(NMP)による膨潤工程、常温NMPによる高圧ジェット剥離工程、2-プロパノール溶液(IPA)および純水によるリンス工程、窒素ブローおよび高速スピンによる乾燥工程等の一連の工程が自動処理できる自動リフトオフ装置である。

●型番:KLO-150CBU
●試料サイズ:小片20mm□~最大φ150mmウエハ
●回転数:0~2000rpm
●NMP処理温度:80℃

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