産業技術総合研究所ナノプロセシング施設

装置詳細

名称	【NPF094】解析用PC(CAD及び近接効果補正用)
メーカー
課金額	2021年度単価表
導入年月日
仕様	CAD及び近接効果補正に使用可能な解析用コンピューターです。電子ビーム描画用ソフトウェアであるドイツGenISys社のBeamerがインストールされています。さまざまなレイアウトがインポート/エクスポートできるほか、優れた近接場効果補正・パターン分割最適処理・輪郭分離処理などが可能です。