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【NPF094】解析用PC(CAD及び近接効果補正用)
名称
【NPF094】解析用PC(CAD及び近接効果補正用)
メーカー
課金額
2018年度単価表
導入年月日
仕様
CAD及び近接効果補正に使用可能な解析用コンピューターです。
電子ビーム描画用ソフトウェアであるドイツGenISys社のBeamerがインストールされています。さまざまなレイアウトがインポート/エクスポートできるほか、優れた近接場効果補正・パターン分割最適処理・輪郭分離処理などが可能です。
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