装置詳細

【NPF098】ECRスパッタ成膜・ミリング装置

【NPF098】ECRスパッタ成膜・ミリング装置IMG
名称 【NPF098】ECRスパッタ成膜・ミリング装置
メーカー  
課金額 2020年度単価表
導入年月日 2020/06/01(月)
仕様  

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