装置詳細

【NPF045】触針式段差計 (成膜プロセス付帯装置)

【NPF045】触針式段差計 (成膜プロセス付帯装置)IMG
名称 【NPF045】触針式段差計 (成膜プロセス付帯装置)
メーカー  
課金額 2018年度単価表
導入年月日  
仕様 先端がダイヤモンドのスタイラス(触針)を用いて、測定物表面を一定の低針圧でなぞり、段差、表面粗さ、うねり等の測定を行う装置です。主に膜厚測定、表面形状の評価に用います。
●測定再現性:1σ≦8Å
●膜厚測定範囲:400 μm
●走査距離:最大10mm
●走査速度:毎秒2~200 μm
●サンプリングレート:毎秒50, 100, 200, 500, 1000ポイント
●測定レンジ:20, 400 μm
●針圧設定範囲:1~100 mg
●最大試料サイズ:158 mm×158 mm, 重量:1 kg以下

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