装置詳細
【NPF045】触針式段差計 (成膜プロセス付帯装置)
| 名称 | 【NPF045】触針式段差計 (成膜プロセス付帯装置) |
|---|---|
| メーカー | |
| 課金額 | 2018年度単価表 |
| 導入年月日 | |
| 仕様 | 先端がダイヤモンドのスタイラス(触針)を用いて、測定物表面を一定の低針圧でなぞり、段差、表面粗さ、うねり等の測定を行う装置です。主に膜厚測定、表面形状の評価に用います。 ●測定再現性:1σ≦8Å ●膜厚測定範囲:400 μm ●走査距離:最大10mm ●走査速度:毎秒2～200 μm ●サンプリングレート:毎秒50, 100, 200, 500, 1000ポイント ●測定レンジ:20, 400 μm ●針圧設定範囲:1～100 mg ●最大試料サイズ:158 mm×158 mm, 重量:1 kg以下 |
