装置詳細
【NPF003】イオンコーター (SEM, FIB付帯装置)
| 名称 | 【NPF003】イオンコーター (SEM, FIB付帯装置) |
|---|---|
| メーカー | 日立ハイテクノロジーズ |
| 課金額 | 2018年度単価表 |
| 導入年月日 | |
| 仕様 | 走査電子顕微鏡観察において、導電性のない試料を観察する際の帯電障害(チャージアップ)を防止するために、Ptあるいはカーボンコーティングをするための装置です。 ●型式:E-1030 ●放電方式:ダイオード放電マグネトロン形(電場・磁場直交形) ●電極形状:対向平行円板(マグネット埋込み) ●電圧:電圧DC 0.4 kV(固定) ●電流:電流DC 0～35 mA(リミット回路付き) ●コーティングレート:最大 毎分6.5 nm (Pt) ●試料サイズ:最大直径:55 mm、最大高さ:20 mm |
