装置詳細

【NPF003】イオンコーター (SEM, FIB付帯装置)

【NPF003】イオンコーター (SEM, FIB付帯装置)IMG
名称 【NPF003】イオンコーター (SEM, FIB付帯装置)
メーカー 日立ハイテクノロジーズ
課金額 2018年度単価表
導入年月日  
仕様 走査電子顕微鏡観察において、導電性のない試料を観察する際の帯電障害(チャージアップ)を防止するために、Ptあるいはカーボンコーティングをするための装置です。
●型式:E-1030
●放電方式:ダイオード放電マグネトロン形(電場・磁場直交形)
●電極形状:対向平行円板(マグネット埋込み)
●電圧:電圧DC 0.4 kV(固定)
●電流:電流DC 0~35 mA(リミット回路付き)
●コーティングレート:最大 毎分6.5 nm (Pt)
●試料サイズ:最大直径:55 mm、最大高さ:20 mm

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