装置詳細

【NPF054】ダイシングソー

【NPF054】ダイシングソーIMG
名称 【NPF054】ダイシングソー
メーカー ディスコ
課金額 2018年度単価表
導入年月日  
仕様 この装置は、シリコンウエハーを希望する大きさに切断するものです。ウエハーは試料台の上にバキューム固定します。切断する大きさを各方向(x軸、y軸、z軸)の移動パラメータとして設定しておけば切断作業は自動的に行われます。ワークサイズは220 mm (x)×160 mm (y)です。切断は円形の刃(ブレード)を高速回転させて加工します。この装置では、多段カットも可能です。ブレードを交換することで石英などのSi以外の薄板も切断できます。
●型式:DAD522
●最大ワーク寸法:152.4 mm
●切削可能範囲:220 mm (x)×160 mm (y)
●x方向送り速度:毎秒0.3~300 mm
●y方向位置決め精度:0.005 mm
●z方向有効ストローク:26.7 mm

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