装置詳細

【NPF052】デバイス容量評価装置

【NPF052】デバイス容量評価装置IMG
名称 【NPF052】デバイス容量評価装置
メーカー ケースレー
課金額 2018年度単価表
導入年月日  
仕様 ケースレー社製Model 82-WIN、及び アジレントテクノロジーズ社製4284A LCRメータ
プローバーシステムとC-VメータやLCRメータから構成されており、電圧電流比から静電容量などの電気的特性を調べることができる。

●Model 82-WIN: Quasistatic C-Vと高周波C-V(100kHz or 1MHz)の同時特性評価
●4284A LCRメータ: 低周波20Hz~高周波1MHzの主にC-V特性評価、及び 周波数変化時の容量であるC-F特性評価

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