装置詳細

【NPF055】スクライバー (リソグラフィ付帯装置)

【NPF055】スクライバー (リソグラフィ付帯装置)IMG
名称 【NPF055】スクライバー (リソグラフィ付帯装置)
メーカー K-604S100/150
課金額 2018年度単価表
導入年月日 2002/04/01(月)
仕様 試料サイズ 最大100mm∮/ t=2mm
最小50mm∮
試料固定 真空吸着法
回転試料台 360°回転
90°×4ポイント
X軸スクライブ幅 0-100mm
切削方法 手動レバーハンドル方式
ストローク100mm
切削用治具 ダイアモンド針

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