装置詳細

【NPF008】スピンコーター (リソグラフィ付帯装置)

【NPF008】スピンコーター (リソグラフィ付帯装置)IMG
名称 【NPF008】スピンコーター (リソグラフィ付帯装置)
メーカー ミカサ株式会社
課金額 2018年度単価表
導入年月日 2005/12/14(水)
仕様 試料サイズ 最大4インチ
試料固定 真空吸着固定式
回転数 最大6000rpm
回転制御 プログラム方式
回転精度 ±1rpm(無負荷)

PAGE TOP