装置詳細

【NPF038】二次イオン質量分析装置(D-SIMS)

【NPF038】二次イオン質量分析装置(D-SIMS)IMG
名称 【NPF038】二次イオン質量分析装置(D-SIMS)
メーカー アルバック・ファイ
課金額 2018年度単価表
導入年月日  
仕様 試料にイオンを照射し、試料表面からスパッタリング放出される二次イオンを質量分析することによって深さ方向の元素分布情報を得る分析手法です。固体表面の検出感度が高く、1H~92Uまでの全元素および同位体に対してppm~ppbの範囲で定量が可能です。

●型式:ADEPT-1010
●一次イオン:
①O2:加速電圧 0.25-8.0kV
②Cs:加速電圧 0.25-11.0kV
●ビーム径:φ75μm以下
●導入可能最大試料サイズ:φ50mm
●二次イオン質量分析計:四重極型
●分析モード:質量スペクトル測定、ライン分析、デプスプロファイル、二次イオンイメージ像

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