装置詳細

【NPF011】i線露光装置

【NPF011】i線露光装置IMG
名称 【NPF011】i線露光装置
メーカー ニコンテック
課金額 2018年度単価表
導入年月日  
仕様 この装置は、最大開口数(N.A.)0.63の投影レンズを搭載し、解像度350 nm以下に対応したi線縮小投影型露光装置です。照明光源とレチクルの間の照明システムの中にあるアパーチャはコンベンショナルタイプの他に、限界解像度と焦点深度をさらに向上させる変形照明(SHRINC、輪帯照明)も選択できます。投影レンズはN.A.可変システムを採用しており、実際のプロセス条件に応じて0.50 ~ 0.63の間で最適なN.A.を選択することが可能です。そのほか特殊ステージを備えておりΦ2インチ~8インチウェハーおよび□20 mm、□18mm、□15 mm、□10 mmの切り出しチップの露光が可能です。
●形式:NSR-2205i12D
●露光光源:i線(波長365 nm)
●解像度:350 nm以下
●最大N.A.:0.63
●縮小倍率:5分の1倍
●露光範囲:□22 mm(ウェハー上)
●レチクル:6インチ石英ガラス
●総合アライメント精度:55 nm以下

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