装置詳細

【NPF004】電界放出形走査電子顕微鏡[S4800_FE-SEM]

【NPF004】電界放出形走査電子顕微鏡[S4800_FE-SEM]IMG
名称 【NPF004】電界放出形走査電子顕微鏡[S4800_FE-SEM]
メーカー 日立ハイテク
課金額 2018年度単価表
導入年月日  
仕様 この装置は、細く絞った電子線で試料表面を2次元的に走査し、その際に出てくる2次電子信号から、表面の凹凸や材質の違いなどを像として表示します。微細加工された部分の形状などを観察評価するために用います。電子線を試料表面で細く収束し、非常に微細な構造を観察するために特殊な電子銃を用いています。試料を傾けながら像を観察することにより、3次元的な形状を把握することもできます。
●型式:S-4800
●電子銃:冷陰極電界放出型電子銃
●加速電圧:0.5~30 kV
●分解能:1.0 nm(加速電圧15 kV, WD = 4 mm)
●試料ステージ制御:5軸モーター制御
●可動範囲:X,Y:0~110 mm、Z:1.5~40 mm、R:360°、T:-5~70°
●試料サイズ:15~150 mmΦ
●検出器:2次電子検出器(2系統)、エネルギー分散型X線検出器

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