ナノプラ

平成28年度実践セミナー 『薄膜実践セミナー�U』

実習プログラム
  • 日 時:後日決定(平成28年12月〜平成29年2月の間の3日間)
  • 期 間:3日間
  • 場 所:国立研究開発法人産業技術総合研究所 つくば中央第二事業所 2-12棟 ナノプロセシング施設(NPF)
  • 参加費: 50,000円/人(人頭経費を含む)
  • 定 員:3名(同時に実施します)
  • 実習内容:NPFの装置を使用してSrTiO3誘電体薄膜形成・熱処理と結晶性・電気特性評価など、機能性薄膜開発の基礎的なスキルの実習。