ナノプラ

平成29年度実践セミナー 『エッチング実践セミナー』

実習プログラム
 NPFの装置を使用して、パターンデータの設計(CAD)、マスクレス露光装置によるリソグラフィー、エッチング加工、電子顕微鏡による形状観察工程を盛り込み、一連の微細加工の基礎的なスキルを獲得してけるコースとなっています。

  • 日 時:2017年9月から12月の間の2日間(スケジュール調整を行います)
  • 期 間:2日間
  • 場 所:国立研究開発法人産業技術総合研究所 つくば中央第二事業所 2-12棟 ナノプロセシング施設(NPF)
  • 参加費:50,000円/人
  • 定 員:3名(同時に実施します)