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平成29年度実践セミナー 『エッチング実践セミナー』

last updated 2017.7.20
 
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概要

産業技術総合研究所ナノプロセシング施設(NPF) は、「エッチング実践セミナー」を、2017年 9月13日(水)産業技術総合研究所ナノプロセシング施設にて開催いたします。

エッチング表面のケミストリーから最先端デバイス材料の加工技術について講演していただく予定です。オーサーズ・インタビューの時間を設けましたので、講師の方々に個別に質問をすることが可能です。産学官いずれのご所属の方にも奮ってのご参加をお待ちしています。

また有料の実習コースでは、NPFの装置を使用して、パターンデータの設計(CAD)、マスクレス露光装置によるリソグラフィー、エッチング加工、電子顕微鏡による形状観察工程を盛り込み、一連の微細加工の基礎的なスキルを獲得していただくことを期待しています。
※講演のみ、実習のみの参加申込も可能です。

主催:産業技術総合研究所ナノプロセシング施設(NPF)
共催:ナノエレクトロニクス計測分析技術研究会(TSC)

講演
【日時】2017年9月13日(水)12:55 - 17:10
【場所】産業技術総合研究所 つくば中央第2事業所 2−12棟 第6会議室
【参加費】無料
【定員】90名(先着順、参加登録をお願い致します)
【セミナー案内/申込】お申し込みはこちら
講演プログラム
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