ナノプラ

平成29年度実践セミナー 『電子ビームリソグラフィ実践セミナーⅢ』

実習コース※1
  • 日  時:2018年2月21日、22日(1日コースを2回開催)
  • 場  所:東京工業大学 大岡山キャンパス 科学技術創成研究院未来産業技術研究所
  • 実習内容:日本電子株式会社製JBX-6300SJによる露光実習を行う。その中で、近接効果の評価及び補正に関する議論を行う。
  • 定  員:各日2名

※1 大変申し訳ありませんが、応募多数の場合は、外部の方を優先させていただきます。