ナノプラ

平成29年度実践セミナー 『電子ビームリソグラフィ実践セミナーⅢ』

last updated 2017.12.12
 
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概要

北海道大学、東京工業大学、産業技術総合研究所は、文部科学省委託事業である「ナノテクノロジープラットフォーム」の一環として「電子ビームリソグラフィ実践セミナー」を東京ファッションタウン9F(研修室907)にて開催いたします。電子ビーム露光装置メーカー各社からの最新の露光装置性能と露光事例とともに、光導波路やフォトニック結晶作製のための電子ビームリソグラフィー技術について紹介いたします。また、各セッションの終わりにオーサーズ・インタビューの時間を設けました。普段質問しづらいことを、この機会に是非、講師の先生方に個別にご質問ください。

なお、後半セッションの後のオーサーズ・インタビューは2階のレストラン PRONTOで意見交換会を兼ねて行います(無料)。EBユーザーの皆様の活発な交流を期待しています。

尚、当日は、隣接する東京ビックサイトにて、ナノテクジャパン2018 (http://www.nanotechexpo.jp/main/ ) が、開催されております。

主催:産業技術総合研究所ナノプロセシング施設(NPF)
主催:東京工業大学 科学技術創成研究院未来産業技術研究所
主催:北海道大学  創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
共催:ナノエレクトロニクス計測分析技術研究会(TSC)
協賛:GenISys株式会社
協賛:株式会社エリオニクス
協賛:日本電子株式会社
協賛:株式会社クレステック
協賛:株式会社アドバンテスト

講演
【日時】2018年2月15日(木)12:30 - 17:00
【場所】東京ファッションタウン9F(研修室907)
  (東京ビックサイト向かいのTFTビル)
【参加費】無料
【定員】90名(先着順、参加登録をお願い致します)
【セミナー案内/申込】お申し込みはこちら
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