ナノプラ

平成30年度セミナー『電子ビームリソグラフィ実践セミナーⅣ』

last updated 2018.9.7
 
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概要

筑波大学、物質・材料研究機構、東京工業大学、産業技術総合研究所は、文部科学省委託事業である「ナノテクノロジープラットフォーム」の一環として「電子ビームリソグラフィ実践セミナーⅣ」を筑波大学東京キャンパスにて開催いたします。

電子ビーム露光の基礎から最新のレジストプロセスまで、露光事例とともに微細パターン形成技術について紹介いたします。また、各セッションの終わりにオーサーズ・インタビューの時間を設けました。普段質問しづらいことを、この機会に是非、講師の先生方に個別にご質問ください。

また、このセミナーへの参加をより充実した機会にするために、実習コースを併設しています。産学官にかかわらず、多くの皆様のご参加をお待ちしています。

主催:産業技術総合研究所ナノプロセシング施設(NPF)
主催:物質材料研究機構微細加工プラットフォーム
主催:筑波大学微細加工プラットフォーム
主催:東京工業大学 科学技術創成研究院未来産業技術研究所
共催:ナノエレクトロニクス計測分析技術研究会(TSC)

協賛:GenISys株式会社
協賛:株式会社エリオニクス

講演
【日時】2018年10月26日(金)12:55 - 16:00
【場所】筑波大学東京キャンパス文京校舎 120号教室 (丸ノ内線茗荷谷駅)
【参加費】無料
【定員】90名(先着順、参加登録をお願い致します)
【セミナー案内/申込】お申し込みはこちら
講演プログラム
講演内容については【講演プログラム】