ナノプラ

平成30年度実践セミナー 『薄膜実践セミナーⅣ』

last updated 2018.10.24
 
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概要

産業技術総合研究所ナノプロセシング施設(NPF) 、名古屋大学未来材料・システム研究所、物質・材料研究機構微細加工プラットフォームは、「薄膜技術実践セミナーⅣ」を2018年11月30日(金)産業技術総合研究所つくば中央にて開催いたします。

前半は、スパッタ堆積法、後半は原子層堆積法(ALD)の成膜技術について紹介いたします。オーサーズ・インタビューの時間を設けましたので、講演終了後に講師の先生に個別に質問をすることが可能です。

また、有料実習コースでは、NPFの装置を使用してSrTiO3誘電体薄膜形成とその結晶性・電気 特性評価などを盛り込んだ機能性酸化物材料の開発のための基礎的なスキルを獲得していただけるコースを準備いたしました。 産学官いずれのご所属の方にも奮ってのご参加をお待ちしています。 (※セミナー講演のみ、実習コースのみの参加申し込みも可能です。)

主催:産業技術総合研究所 ナノプロセッシング施設(NPF)
主催:名古屋大学未来材料・システム研究所
主催:物質・材料研究機構微細加工プラットフォーム
共催:ナノエレクトロニクス計測分析技術 研究会(TSC)

講演
【日時】2018年11月30日(金)12:55-17:20
【場所】産業技術総合研究所 つくば中央2-12棟第6会議室
【参加費】無料
【定員】90名(先着順、参加登録をお願い致します)
【セミナー案内/申込】お申し込みはこちら
講演プログラム
講演内容については【講演プログラム】
実習プログラム
実習コースについては【実習】