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施設運転情報

施設Pライン気密検査【8/21】

2020/07/13(月)

8月21日(金)に、施設の圧縮空気配管の気密試験を実施するために、圧縮空気・圧縮窒素の供給が停止します。

一部の装置を除き大部分の装置利用が停止されますのでご承知置き下さい。

点検実施日 :8月21日(金)9:00~19:00
点検対象棟 :2-12棟
供給停止ガス:窒素、圧縮空気

対象装置は既にメンテナンス予約済となっております。

個別にコンプレッサを使用しているFE-SEM, 低真空SEM, FIB, ダイシングソーなどは利用できます。

詳細は、NPFの各装置担当者にお問い合せ下さい。

NPF事務局

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