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施設運転情報

多元同時スパッタ装置 利用停止

2016/06/03(金)

ユーザー各位

平素よりお世話になっております。
装置の故障により多元同時スパッタ装置のご利用を停止致します。
復旧の見込みが判明次第、利用再開の案内をいたします。

ご迷惑をおかけ致しますが、ご理解頂けますようお願いいたします。
不明な点などは、担当:赤松にお問い合わせください。

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