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施設運転情報

多元同時スパッタ装置 共用廃止

2017/10/13(金)

【NPF028】多元同時スパッタ装置は、利用停止状態が続いておりましたが
修理見込みが立たないため、近日中に装置の登録は抹消されることになりました。

これまでのご利用ありがとうございました。

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