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施設運転情報

純水タンク洗浄作業【3/11~13】

2019/01/31(木)

定期メンテナンスに伴う超純水供給停止について

下記の日程にて超純水製造装置の定期メンテナンスを行います。
作業中は超純水が供給されませんので、汲み置きの純水をご利用いただくことになります。

※※ 記 ※※

日 時:
3月11日(月) 9:00~ 3月13日(水) 17:00
(3月14日を予備日とします)

作業内容:
1000LT純水タンクの薬洗作業

影響を受ける装置:
・CR3エリアドラフト
・【NPF012】ドラフトチャンバー(右)
・【NPF013】ドラフトチャンバー(左)

期間中利用停止となる装置:
・【NPF054】ダイシングソー
・【NPF091】自動塗布現像装置
・【NPF092】高圧ジェットリフトオフ装置

ご迷惑をおかけしますがよろしくお願いします。
不明な点などは、担当:中島(222-55181)までお問い合わせください。

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