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純水装置定期メンテナンス【5/20】

2021/04/20(火)

定期メンテナンスに伴う超純水供給停止について

下記の日程にて超純水製造装置の定期メンテナンスを行います。
作業中は超純水が供給されませんので、汲み置きの純水をご利用いただくことになります。
CR1エリアにおきましては「純水」の供給は止まりません。 >「超純水」が止まります

※※ 記 ※※

日 時:
5月20日(木) 9:00~13:00

作業内容:
・CR1/CR4系統 超純水カートリッジの交換

影響を受ける装置:(予約停止にはならないが、超純水の供給はできません)
・CR3エリアドラフト
・【NPF012】ドラフトチャンバー(右)
・【NPF013】ドラフトチャンバー(左)
・【NPF014】有機ドラフトチャンバー

期間中利用停止となる装置:(断水中は予約停止となります)
・【NPF054】ダイシングソー

ご迷惑をおかけしますがよろしくお願いします。
不明な点などは、担当:中島(222-55181)までお問い合わせください。

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