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令和2年度 ドラフト法定点検【6/11】

2020/05/22(金)

ドラフトチャンバー法定点検につき、下記の時間帯で一部作業が行われます。

※※ 記 ※※

日時:6月11日(木)13:00~15:00
対象:
CR-1 【NPF014】有機ドラフトチャンバー 【NPF015】酸アルカリドラフトチャンバー
CR-2 【NPF008】スピンコーター【NPF012】ドラフトチャンバー(右) 【NPF013】ドラフトチャンバー(左)
CR-3 ドラフト、スピンコーター用

検査対象ではありませんが、CR2奥の【NPF091】自動塗布現像装置 【NPF092】高圧ジェットリフトオフ装置も
同一排気系使用のため検査の影響を受けます。

純水の供給停止等はありませんが、点検作業中はドラフト内付帯装置も含めて使用不可とさせていただきますので、
ご注意いただけますようお願いいたします。

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